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產(chǎn)品應(yīng)用
Metrology系列
探針卡自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)/自動(dòng)螺絲檢查機(jī)/電容值量測(cè)機(jī)
【用途說(shuō)明】
| ●? | 晶圓探針卡自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備應(yīng)用在晶圓探針卡入料品質(zhì)控制（IQC）檢測(cè)及修補(bǔ)檢測(cè)，檢測(cè)項(xiàng)目包含探針尖平面度、探針長(zhǎng)度、探針直徑、探針位置偏移、探針導(dǎo)板平面度、螺絲高度及印刷電路板電子元件。並具備人工調(diào)針立體光學(xué)顯微影像平臺(tái)，整合自動(dòng)化檢測(cè)及探針卡調(diào)針修復(fù)功能。 |
晶圓雷射切割道形貌自動(dòng)量測(cè)設(shè)備
【用途說(shuō)明】
| ●? | 晶圓雷射切割道形貌自動(dòng)量測(cè)設(shè)備應(yīng)用於晶圓切割（Dicing Saw）前，進(jìn)行雷射開(kāi)槽（Laser Grooving）後，針對(duì)雷射切割道進(jìn)行三維形貌尺寸量測(cè)，檢測(cè)出不符合製程規(guī)格之產(chǎn)品，以確保晶圓切割時(shí)產(chǎn)品的可用性。 |